양자 컴퓨팅 칩 팹 히터

Role 당사 양자 컴퓨팅 칩 팹 히터는 열 프로파일이 양자 칩 수율의 생사를 좌우하는 팹 플로어 현장에서 개발되었습니다. 포토레지스트 베이크 중 웨이퍼 전체에 걸쳐 몇 십분의 1도 정도의 온도 편차만으로도 오버레이 및 CD 제어가 무너질 수 있으며, 이는 고가의 기...