IR 에미터용 세라믹 엔드캡
유리 조각이 떨어지는 것을 막아보세요: IR 램프 고장 대처법
반도체 웨이퍼를 다루는 사람이라면 누구나 그 불안함을 잘 알고 있습니다. 고부하의 작업을 진행하는 중에 갑자기 IR 램프가 고장 나버리는 것입니다.
문제는 단순히 가동 중단뿐만이 아닙니다. 석영관이 파손되...
세라믹 적외선 히터 패널
웨이퍼가 놓이는 표면에서는, 적절한 온도 프로파일이 포토레지스트의 치수와 측벽 형태를 안정적으로 유지시켜 줍니다. 온도가 0.5도만 변해도 선의 너비에 오차가 생기게 되며, 이는 에칭 과정에 직접적인 영향을 미칩니다. 저희는 이러한 변수들을 없애기 위해 특수한 세라믹...