높은 온도에서도 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법 클래스 100급 청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 것은 쉽지 않습니다. 단순히 공기 필터만으로는 충분하지 않습니다. 만약 가열 요소에서 입자나 유해 가스가 발생한다면, 큰 문제가 생깁니다. 그래서 우리는 적외선 램프에 고...

300mm 공정에서는, 포토레지스트를 가열하는 과정에서 2°C 정도의 온도 변동이라면 문제가 되지 않습니다. 다만, 이로 인해 선의 굵기에 변동이 생기거나, 불량 제품이 발생할 수 있으며, 아침 7시에 얻어지는 생산성도 기대에 미치지 못할 수 있습니다. 열 안정성은...