램프 고장으로 인해 웨이퍼가 손상되는 것을 막으세요. 고부하의 웨이퍼 생산을 진행할 때면 그런 끔찍한 상황을 겪게 됩니다. 램프가 고장 나는 것이죠. 간단한 문제처럼 보이지만, 만약 석영관이 파손된다면 큰 문제가 생깁니다. 유리 조각과 할로겐 가스가 사방으로 튀어나와...

기계의 벽면을 가열하는 것을 그만두세요 반도체 장비를 다룬 적이 있다면 그 어려움을 잘 알고 있을 것입니다. 장비 내부는 뜨거워야 하지만, 전체 장비가 거대한 라디에이터처럼 변하는 것은 원하지 않습니다. 일반적인 대류식 히터는 에너지를 사방으로 방출하기 때문에, 작업...