300 mm’lik hatlarda, fotorezistin pişirilmesi sırasında meydana gelen 2°C’lik bir sapma önemli bir sorun teşkil etmez. Bu durum, çizgi genişliklerinde değişikliklere, atık ürünlere ve beklenmeyen verimlilik değerlerine yol açar. Termal stabilite ise sadece istenen bir özellik değil; işlemin kendisidir.
Önemli olan şeyler
Bu cihazları, litografi süreçlerinde kullanılmak üzere tasarladık. Yumuşak pişirme ve sert pişirme işlemleri için kullanılabilirler ve tüm işlem boyunca wafer üzerindeki sıcaklık değişimleri ±0.1°C olarak kontrol edilir. Kuvars-halojen elemanlar, öngörülebilir bir ısıl profil sağlar. NIR seçenekleri ise daha hızlı kuruma süreleri sunar ve aşırı ısınmayı engeller.
Bu cihazlar, Class 1–100 standartlarına uygun şekilde tasarlanmıştır. Yerinde ölçümlerle partikül oluşumu tamamen engellenmiştir ve kullanılan malzemeler gaz salınımı yapmaz. 5.000 saatten fazla kullanım ömrü ve %5’in altında çıkış sapması ile 24/7 çalışma imkanı sağlar.
Neden bu cihazlar fabrikalarda tercih ediliyor?
Bu alanda tekrarlanabilirlik tek kabul edilebilir özelliktir. Sistemlerimiz sıcaklık değerlerini sıkı bir aralıkta tutar; böylece kritik boyutlar sabit kalır ve fotorezist profilleri 100. parti ile 10.000. parti arasında aynı kalır. Isı kaynaklı yeniden işlemlerden kaçınılarak daha stabil bir üretim sağlanır. Ayrıca, verimli termal bağlantı sayesinde daha düşük enerji tüketimi ve uzun kullanım ömrü sayesinde daha az yedek parça değişimi gereklidir. Sonuç olarak daha az sapma, daha tutarlı sonuçlar ve güvenilir OEE değerleri elde edilir.
Planlamanız gerekenler
Bu cihazlar standart pişirme sistemlerine kolayca entegre edilebilir. Ancak termal bağlantı, odanın geometrisi ve gaz akışıyla değişebilir. Doğru ayarların yapılabilmesi için kısa bir test süreci gereklidir. Böylece her seferinde belirlenen özelliklerde bir pişirme profiline ulaşılır.