
MEMS yongalarını kırmadan kurutma işlemi
MEMS sensör yongalarını kurutmak oldukça hassas bir işlemdir. Nemden kurtulabilmek için ısıya ihtiyaç vardır ve bu ısıya hızlıca ulaşmak gerekir. Ancak dikkatli olmazsanız, bu minik ve hassas mikro yapılar hasar görebilir.
Bunu başarmak için özel kızılötesi ısıtıcılar kullanıyoruz. Ancak asıl sır, altın kaplamalı yansıtıcılardır. Bunlar, enerjinin doğrudan yonga üzerine düşmesini sağlar; böylece makinenin iç kısmı fazla ısınmaz.
Neden altın kullanılır?
Standart alüminyum yansıtıcılar da işe yarar, ancak çok fazla kızılötesi enerjiyi emerler. Bu da israf demektir. Biz yüksek saflıkta altın kaplamalar kullanıyoruz; çünkü bu kaplamalar, kızılötesi ışığı tam da gereken yere yönlendirme konusunda mükemmeldir. Böylece daha yoğun bir ısı hüzmesi elde edilir. Ayrıca bu enerji o kadar odaklanmış olur ki, sistemin toplam gücünü azaltarak bile silikon yüzeyinde istenen sıcaklığa ulaşılabilir. Bu da daha verimli bir çözümdür.
Isıyla ilgili dikkat edilmesi gerekenler
Bir kurutma sistemi kurarken genellikle kısa süreli ve yoğun bir ısı akışına ihtiyaç vardır. Altın yansıtıcılar, odak noktasında gereken bu yüksek ısı yoğunluğunu sağlar. Ancak dikkat edilmesi gereken bir diğer nokta ise yonga taşıyıcısının durumudur. Isı o kadar yoğun olur ki, malzemelerde deformasyonlar meydana gelebilir. Ayrıca soğutma fanlarını da göz ardı etmemek gerekir. Eğer bu fanlar odadaki ısıyı kontrol altında tutacak kadar güçlü değilse, çevre sıcaklığı değişmeye başlar. Bu durumda işlemin tekrarlanabilirliği bozulur.
Sistemlerin düzgün çalışmasını sağlama
Bu ısıtıcıları küçük tutuyoruz ki, dar vakum veya atmosferik odalarda rahatça yer bulabilsinler. Ancak dikkat edilmesi gereken bir diğer nokta da altın kaplamanın ince olmasıdır. Eğer korozif gazlarla çalışıyorsanız, yansıtıcıları korumanız gerekir; aksi takdirde kimyasallar onları tahrip edebilir. Düzenli olarak hasar veya renk değişiklikleri kontrol edilmelidir. Eğer altın kaplama bozulmaya başlarsa, verimlilik düşer. Bunun sonucunda daha fazla güç kullanmak zorunda kalırsınız ve bu da lambaların erken yanmasına neden olur.