
Wafer’lerin Kurutulmasında Kullanılan Lambaların Patlamasını Önleme Yöntemleri
Dürüst olalım: Yüksek sıcaklıkta çalışan kızılötesi lambaları uçucu kimyasallarla dolu bir odanın içine koymak oldukça riskli bir durumdur. İşin yapılabilmesi için ısı gereklidir; ancak bu durumda adeta yanıcı buharlarla dolu bir odaya bir kıvılcım yerleştirmiş oluyorsunuz. Piyasadaki sıradan lambalar burada kötü bir seçenek değil, tam anlamıyla bir tehlikedir.
Bu yüzden biz, ısı kaynağını ve çevreyi tamamen ayırarak işlev görecek şekilde reflektör ve lamba üniteleri tasarlıyoruz.
Gerçekten Etkili Bir Mühürleme Sistemi
Mühürleme konusunda hiç taviz vermiyoruz. Her şeyi sıkıca kapatan hermetik bir sistem kullanıyoruz. Hiçbir buhar içeri giremez ve hiçbir kıvılcım dışarı çıkamaz.
Reflektör sadece ışığı yansıtmakla kalmaz; aynı zamanda önemli bir koruma katmanıdır. Yüksek saflıkta kuvars camları ve erimeye veya bükülme olmadan agresif temizleyicilere dayanabilen contalar kullanıyoruz. Sıcaklık değiştiğinde hemen kırılan o ucuz contaları artık kullanmıyoruz.
Isının Doğru Yere Ulaştırılması
Amaç, tüm odayı değil, sadece wafer’ı ısıtmaktır. Bunu başarmak için altın kaplı veya yüksek yansıtma özelliğine sahip alüminyum malzemeler kullanıyoruz. Bu malzemeler, kısa dalga boyundaki kızılötesi ışınları hedefe doğru odaklar. Işın daha dar olduğundan, oda duvarları daha serin kalır ve wafer çok daha yoğun bir ısı alır. Böylece kurutma işlemleri daha hızlı gerçekleşir.
Tercihler ve Unutulan Detaylar
Yüksek yoğunluktaki lambaların uçlarında inanılmaz derecede yüksek sıcaklıklar oluşur. Kaplamamız son derece sıkı olduğu için bu ısı içeride kalır. Eğer yüksek güçte bir sistem kullanıyorsanız, “her şeyi ayarlayıp unutmak” mümkün değildir. Soğutma fanlarının veya sıvı soğutma sistemlerinin yeterince güçlü olduğundan emin olmalısınız. Eğer hava cihazın içinde dolaşmazsa, iç parçalar sınırlarına ulaşır ve sistem bozulur. Bu bir sorundur, ancak sistemin tamamen bozulmasından iyidir.
Eğer güç kaynağınız uygun voltaja sahipse, bu cihazlar mevcut kurutma sistemlerine sorunsuz bir şekilde entegre edilebilir.