Секрет кращої обробки напівпровідників: лампи інфрачервоного випромінювання з золотим покриттям
Індустрія активно прагне до використання безсвинцевих, екологічно чистих методів обробки напівпровідників. Це чудово, але це створює проблеми для тих, хто фактично керує обладнанням.
Більшість заводів все ще використовують конвекційні печі – це, по суті, величезні нагрівачі, які витрачають величезну кількість енергії лише на нагрівання повітря в приміщенні. Це неефективно. Саме тому ми перейшли на лампи інфрачервоного випромінювання з золотим покриттям. Замість нагрівання повітря, енергія спрямовується безпосередньо на сам матеріал. Це дозволяє швидко та ефективно обробляти напівпровідники.
Чому саме золото?
Якщо використовувати звичайну кварцову лампу, отримується широкий спектр випромінювання. Проблема полягає у тому, що для обробки напівпровідників неможливо просто нагрівати все навколо. Це може призвести до пошкодження пластини. Потрібні спеціальні довжини хвиль, які зможуть проникнути крізь фоторезисти чи клеї.
Тож ми наносимо тонкий шар золота на кварцову оболонку лампи. Це своєрідний фільтр, який відбиває небажане довгочастотне випромінювання назад у філамент, а енергію спрямовує у діапазон короткохвильового інфрачервоного випромінювання. Це означає, що більше тепла потрапляє на оброблюваний матеріал. Час підготовки скорочується, а приміщення не перетворюється на „сауну“.
Недоліки
Однак є один недолік: ці лампи виділяють величезну кількість тепла. Через високу щільність тепла виникає великий тиск на системи охолодження. Якщо температура повітря не контролюється, кінці ламп можуть перегрітися та зламатися. Неможливо просто збільшити потужність лампи – потрібно також забезпечити належне охолодження.
Оптимізація процесу
Безсвинцеві припої та клеї вимагають вищих температур та більш точного контролю температури. Лампи інфрачервоного випромінювання полегшують це завдання, оскільки дозволяють точно контролювати температуру в окремих зонах. Також можна уникнути використання розчинників – немає шкідливих продуктів згоряння. Це чиста заміна застарілих, забруднюючих середовище систем обробки. Достатньо лише підключити лампи до контролера SCR, налаштувати параметри та дозволити випромінюванню виконувати свою роботу.