别再等待烤箱升温了：为何在半导体加工中，红外线加热比强制对流加热更高效
我注意到，越来越多的半导体工厂开始放弃传统的强制对流加热方式。
这种加热方式的缺点就是效率极低。实际上，必须先让腔室内的每一立方英寸的空气都升温，工件才能感受到温度变化。这一过程极其缓慢，你得花费大量时间来等待温度上升。
**而红外线加热则完全不同。**它不需要加热空气，而是直接将能量传递到被加热的基板上。这就好比与其等待整个房间变暖，不如直接站在阳光下面一样。
这样一来，升温时间从几分钟缩短到了几秒。这意味着，你每小时可以处理更多的晶圆，而无需增加更多设备或占用更多空间。
不过，不能随便使用普通的电线。在如此高的温度下，普通的PVC或硅胶绝缘材料很快就会损坏。因此，我们选择使用涂有特氟龙涂层的电线。这样的电线能够承受高温而不易损坏，从而让电线更靠近加热源，使整个装置更加紧凑。
当然，这并不是什么神奇的解决方案。红外线是沿直线传播的，如果零件的形状复杂或有凹陷处，那么那些地方就难以被加热。因此，必须精心安排灯的位置以及反射器的角度，以确保所有区域都能均匀受热。
对于工程师来说，这种快速且节能的加热方式显然很有吸引力。
不过需要注意的是，要确保电源供应足够强大。红外线灯产生的初始电流强度远远高于普通电阻加热器。只要确保电源正常，再使用特氟龙涂层电线，就能有效避免加热电路中的故障。