阻止玻璃碎片飞溅：应对红外灯故障的问题 任何从事半导体晶圆加工的人都能体会到那种困扰。当你在高负载状态下运行设备时，红外灯突然发生故障。 问题不仅在于设备需要停机维修，更糟糕的是随之而来的混乱状况。一旦石英管破裂，玻璃碎片和卤素气体就会四处飞溅，污染晶圆。这真是一场灾难。 因此，我们才使用陶瓷端盖...

在晶圆厂车间，热偏差不仅是效率低下的问题，更是良率杀手。即使软烘烤温度偏差一度，也会导致光刻胶厚度分布不均；而干燥过程温度不足则会残留水分，破坏图案完整性。线性红外加热发射器通过将可控能量直接投射到目标上，消除这类风险。 技术关键点 我们对线性IR发射器的规范集中在可重复的波长控制和严格的热均匀性...