در خط تولید با طول ۳۰۰ میلیمتر، اختلاف دمایی ۲ درجه سانتیگراد در حین فرآیند پخت فوتورزیست، مشکلی ایجاد نخواهد کرد. این اختلافات منجر به تغییرات در عرض خط تولید، از بین رفتن محصولات تولید شده، و کاهش بهرهوری در ساعات صبحی میشود. پایداری حرارتی چیزی نیست که بتوان آن را به عنوان یک ویژگی اختیاری در نظر گرفت؛ بلکه جزو جزئیات اساسی فرآیند تولید است.
چه چیزهایی اهمیت دارد؟
ما این دستگاهها را برای کنترل دمایی در فرآیندهای لیتوگرافی طراحی کردهایم؛ این دستگاهها امکان کنترل دقیق دما را فراهم میکنند، به طوری که تفاوت دما در سراسر فرآیند در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی بماند. عناصر کوارتز-هالوژن نیز باعث ایجاد الگوی تابشی قابل پیشبینی میشوند. گزینههای مربوط به نور مادون قرمز نیز به کاهش زمان لازم برای پخت کمک میکنند، بدون اینکه باعث اختلافات اضافی شوند.
این دستگاهها برای استفاده در اتاقهای پاک با سطح کنترل ۱ تا ۱۰۰ مناسب هستند؛ همچنین، تولید هیچ ذرهای در این دستگاهها وجود ندارد، و این موضوع از طریق اندازهگیریهای درجا تأیید شده است. عمر این دستگاهها بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت است و اختلافات دمایی نیز کمتر از ۵٪ است.
چرا این دستگاهها در کارخانههای تولید مناسب هستند؟
در این صنعت، تکرارپذیری تنها ویژگی قابل قبول است. سیستمهای ما دمای محیط را در محدودههای دقیقی نگه میدارند؛ بنابراین کنترل ابعاد مهم محصولات نیز دقیق خواهد بود. شما میتوانید از بهرهوری پایداری برخوردار باشید، بدون نیاز به تعمیرات مکرر، و همچنین مصرف انرژی کمتری خواهید داشت. نتیجه این امر، کاهش اختلافات، توزیع دقیقتر، و بهرهوری قابل اطمینان است.
چه چیزهایی را باید در نظر بگیرید؟
این دستگاهها برای استفاده در مسیرهای استاندارد پخت طراحی شدهاند؛ اما اتصال حرارتی با توجه به موقعیت محفظه و جریان گاز تغییر میکند. بنابراین، لازم است قبل از استفاده، این دستگاهها را تنظیم کنید تا الگوی دمایی مناسبی داشته باشند. این کار باعث میشود که الگوی دمایی در هر شیفت تولید، در حد مشخصات استاندارد باقی بماند.