جلوگیری از انفجار لامپهای استفاده شده برای خشک کردن ویفرها
باید صادق باشیم: قرار دادن لامپهای مادون قرمز با دمای بالا در یک محفظه پر از مواد شیمیایی فرار، کاری بسیار خطرناک است. البته برای انجام کار نیاز به گرما وجود دارد، اما در واقع شما در حال قرار دادن یک جرقهزا در محیطی پر از بخارات قابل اشتعال هستید. استفاده از لامپهای معمولی در این شرایط، نه تنها انتخاب بدی است، بلکه میتواند خطرناک باشد.
به همین دلیل، ما طراحی رفلکتورها و لامپهایمان را طوری انجام دادهایم که منبع گرما و محیط اطراف آن کاملاً از هم جدا شوند.
بستهبندی محکم
ما در زمینه بستهبندی دقت زیادی میکنیم؛ از روشهای بستهبندی محکم استفاده میکنیم تا هیچ بخاری وارد محفظه نشود و هیچ جرقهای نیز خارج نشود.
رفلکتورها نه تنها نور را منعکس میکنند، بلکه خط دفاعی اصلی شما نیز هستند. ما از شیشه کوارتز با خلوص بالا و درزپذیرهایی استفاده میکنیم که در برابر مواد شوینده قوی نیز مقاوم باشند. میدانید آن درزپذیرهای ارزانقیمتی که به محض تغییر دما ترک میخورند؟ ما از چنین روشهایی استفاده نمیکنیم.
رساندن گرما به جای مناسب
هدف، گرم کردن ویفر است، نه کل محفظه. برای این کار، از آلومینیوم با بازتابندگی بالا یا فلزات پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم. این روش، تشعشعات مادون قرمز را در یک پرتو باریک متمرکز میکند؛ در نتیجه دیوارههای محفظه سردتر میمانند و ویفر گرمای بیشتری دریافت میکند. این کار باعث میشود فرآیند خشک کردن سریعتر انجام شود.
معایب این روش (چیزی که اکثر مردم فراموش میکنند)
مشکل اینجاست که لامپهای با توان بالا، در قسمتهای اتصال خود دمای بسیار بالایی دارند. از آنجایی که بستهبندی محفظه بسیار محکم است، این گرما درون محفظه باقی میماند. اگر از سیستمهایی با توان بالا استفاده کنید، نمیتوانید فقط آن را روشن کنید و فراموشش کنید؛ باید مطمئن شوید که فنهای خنککننده یا سیستمهای خنککننده مایع، برای تحمل این توان کافی باشند. اگر هوا در اطراف محفظه جریان نداشته باشد، قطعات داخلی به حد مرزی خود خواهند رسید و سیستم از کار خواهد افتاد. البته این مشکل وجود دارد، اما بهتر از این است که سیستم کاملاً از کار بیفتد.
اگر منبع تغذیه شما با ولتاژ مورد نیاز مطابقت داشته باشد، این دستگاهها میتوانند بدون هیچ مشکلی در سیستمهای خشککننگی شما نصب شوند.