متوقف کردن این وضعیت فاجعهبار: حفظ تمیزی ویفرها در شرایط گرمایش شدید
اگر تا به حال در تولید نیمههادیها کار کرده باشید، میدانید که چه اتفاقی میافتد. خرابی لامپهای مادون قرمز، صرفاً یک مشکل ساده نیست؛ بلکه یک فاجعه است. ناگهان، شما دیگر با یک عنصر گرمایشی خراب سروکار ندارید، بلکه با ویفرهایی روبرو هستید که پر از تکههای کوارتز و گاز هالوژن هستند. واقعاً یک وضعیت بد است.
ما سیستمهای مادون قرمز خود را به گونهای طراحی کردهایم که چنین اتفاقی رخ ندهد.
تعیین فاصله مناسب
ما صرفاً حدس نمیزنیم که لامپ باید در چه فاصلهای از ویفر قرار بگیرد؛ چون این کار میتواند منجر به مشکلات زیادی شود. در عوض، ما به این موضوع توجه میکنیم که کوارتز در هنگام گرم شدن چگونه تغییر شکل میدهد و تشعشعات مادون قرمز چگونه عمل میکنند.
اگر لامپ خیلی نزدیک باشد، مناطقی با دمای بالا ایجاد میشود؛ اما اگر لامپ خیلی دور باشد، زمان لازم برای گرم شدن لامپ طولانی میشود، و کسی وقتی برای این کار ندارد. ما به دنبال فاصلهای مناسب هستیم که در آن گرما یکنواخت باشد، اما هنوز فضای کافی برای تغییر شکل لامپ وجود داشته باشد.
استفاده از موانع ایمنی
از آنجایی که لامپها میتوانند خراب شوند، ما فقط به بهترین شرایط امید نمیکنیم. ما موانع فیزیکی را در مسیر لامپ قرار میدهیم. از سپرهای کوارتز با خلوص بالا بین لامپ و ویفر استفاده میکنیم؛ این سپرها میتوانند تمام ضایعات ناشی از خرابی لامپ را جذب کنند. البته، شما لامپ خود را از دست میدهید، اما ویفرهایتان در امان خواهند ماند. این یک تعامل مناسب است.
همچنین، ضخامت دیوارهها نیز مهم است؛ دیوارههای نازک، گرما را سریعتر منتقل میکنند، اما در شرایط گرمایش شدید، آسیب میبینند. ما ضخامت دیوارهها را به گونهای تنظیم میکنیم که سیستم بتواند با فشارهای ناشی از گرمایش شدید کنار بیاید، بدون اینکه سیستم خنککننده دچار مشکل شود.
مشکلات مربوط به سیستم خنککنندگی
مشکل این است که لامپهای با توان بالا، گرمای لازم برای کار سریع را فراهم میکنند، اما فشار زیادی بر سیستم خنککننده وارد میکنند. اگر هوای خنککننده کافی نباشد، انتهای لامپ دچار گرمای بیش از حد خواهد شد؛ در این صورت، سیستم خنککننده دچار مشکل خواهد شد. ساده است: جریان هوا باید متناسب با توان لامپ باشد. اگر الکترودها خنک بمانند، بقیه سیستم نیز در وضعیت خوبی خواهد بود.