ファブ乾燥のエネルギー診断

ウェーハ乾燥システムでの熱の無駄遣いをやめましょう。 正直言って、ウェーハの乾燥というのは、エネルギーを正確に必要な場所に送り込むことが重要です。しかし、古いものや性能の低い反射板を使っている場合、実質的にエネルギーを無駄にしていることになります。 私たちは、金コーティング技術を用いてこの問題を解...