MEMSセンサウェーハ乾燥ヒーター

MEMSウェーハを破壊することなく乾燥させる方法 MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるには、バランスをうまく取る必要があります。水分を取り除くためには熱が必要であり、しかもそれを迅速に行う必要があります。しかし、注意しないと、その微細で繊細な微小構造が壊れてしまいます。 これを実現するために、私...