ウェーハ製造用ポリイミド硬化処理

製造現場において、ポリイミドの硬化処理は単なるチェック項目ではありません。それは管理すべき温度条件です。数度でも目標温度から外れてしまうと、平坦化が不十分になったり、接着力が低下したり、ウエハーが変形してしまったりします。今日の微細加工技術では、そのような誤差は許されません。 重要なのは内部の仕組...