線形赤外線加熱エミッター

ファブフロアでは、熱の逸脱は単なる非効率ではなく歩留まりを著しく低下させる要因である。わずか1℃のずれでもソフトベーク時のフォトレジストの膜厚にばらつきが生じ、半乾燥状態のドライ工程では残留した水分がパターンの整合性を損なう。リニア赤外線ヒーティングエミッターは、制御可能なエネルギーを直接ターゲッ...