では、ファブ内でのクォーツシールドについて話しましょう。 半導体や電子製品の製造現場で「スマートな」環境を実現しようとする場合、熱管理が最も重要です。しかし、しばしば見過ごされがちなのが、クォーツガラス製のシールドです。 多くの人はそれを単なるカバーと思っていますが、実際にはそうではありません。実...

ファブフロアでは、手順はお分かりでしょう。90℃でのソフトベークがたった0.5℃のずれでもフォトレジストプロファイルを狂わせ、CD制御を損ないます。IRランプの周りのクォーツスリーブは単なるカバーではなく、各ベークステップでの再現性を確保するための熱インターフェースです。 重要な内部要素 これらの...

熱が絶対に必要で、しかも今すぐ必要な場合、このクォーツ電気ヒーターが適している。これは高速で強烈な放射熱が単なる「あると便利」ではなく、目的そのものである瞬間に使われるよう設計されている。 詳細を見ていく。 出力は2500Wで、通常400Vで動作する。この高電圧は合理的な選択で、電流を抑えられるた...