半導体ヒーター用テフロン線

もうオーブンを待つのはやめましょう：半導体処理においてIR加熱がなぜ強制空気循環より優れているのか 多くの半導体製造業者が、従来の強制空気循環方式を捨てようとしていることに気づきました。 強制空気循環方式の問題点は、その遅さです。ウェハーが温度変化を感じる前に、チャンバー内のすべての空気を温める必...