ウエハーツール用温度センサー

ウェハープロセス装置における温度センサー：100％の高電圧試験によって電気的安全性を確保する方法 ウェハープロセス装置において、温度センサーは単に温度を測定するだけの役割を果たすわけではありません。それらは装置の電気的な基盤として機能し、高い電圧がかかり、空間も狭く、環境も厳しい状況下でも安定して...