UHP 超高純度 ヒーターランプ

もうウェーハを待たせてはいけません：なぜUHP赤外線が最適なのか 半導体製造における加熱という問題について話しましょう。 長年にわたり、私たちは熱風を利用してきました。しかし、問題は、強制送風の速度が遅いということです。つまり、空気を温めるという余分な手間が必要になるのです。これは不要な手順です。...