高温環境下でもクリーンな状態を維持するために クラス100のクリーンルームを常に清潔に保つのは、注意を払わないと非常に困難です。問題は空気フィルターだけではありません。もし加熱要素から微粒子や有害物質が放出されるようになったら、大きな問題が生じます。 そのため、私たちは赤外線ランプに高純度の合成石...

CNT製造における適切な加熱の仕方 もし炭素ナノチューブを扱っているのであれば、その困難さはよくわかるでしょう。正確な温度制御が必要であり、しかもそれは即座に行われなければなりません。もし温度が少しでも変動したり、反応に時間がかかったりすると、生産された製品は全てダメになってしまいます。 だからこ...

バイオセンサーの設置を火災の危険源にしないようにしましょう バイオセンサーを自作する場合、正確なIR加熱が必要です。しかし問題は、その処理を化学洗浄液や揮発性溶剤の近くで行うと、通常のIRランプは実質的に爆発の危険を孕んでいるということです。 少しでもミスがあれば、火災が起きてしまいます。そのため...

300mmウェーハの場合、フォトレジストを焼成する際に2°Cのズレがあっても問題にはなりません。ただし、それによって線幅に変動が生じたり、不良品が出たり、朝7時時点での歩留まりが悪くなったりします。熱安定性は単なる付加的な要素ではなく、プロセスそのものです。 実際に重要なのは何か 私たちが開発した...