제조 현장에서는 레이저 다이싱 공정이 어떤 지연도 용납하지 않습니다. 만약 지원용 히터의 성능이 저하된다면, 웨이퍼의 온도 제어가 제대로 이루어지지 않으며, 포토레지스트의 건조 과정도 일관성을 잃게 됩니다. 그 결과 수율도 떨어지고, 공정도 멈추게 됩니다. 저희는 레이저 웨이퍼 다이싱 공정에 맞춰 지원용 히터를 설계했습니다. 즉, 공정의 흐름에 방해가 되지 않도록 말입니다.
실제로 중요한 것은, 활동 영역 전체에서 웨이퍼의 온도가 ±0.1°C 이내로 일정하게 유지된다는 것입니다. 또한, 각 다이싱 공정마다 설정된 온도가 일관적으로 유지됩니다. 석영 가열 element들은 빠르게 반응하며 깨끗하게 작동합니다. 이는 클래스 1–100급 청정실에서도 사용하기에 적합합니다.
밀폐된 구조와 가스 방출이 적은 소재를 사용함으로써 입자 발생이 전혀 없으므로, 웨이퍼나 광학 부품에 손상이 가지 않습니다. 또한 반복성도 보장됩니다. 제어 루프 덕분에 모든 다이싱 공정에서 동일한 온도 프로파일이 유지됩니다.
24/7으로 공정이 진행되는 상황에서 신뢰성이란 바로 가동 시간을 의미합니다. 이 히터들은 계획되지 않은 고장 없이 작동하며, 서비스 간격도 50,000시간에 달합니다. 이를 통해 커트 너비가 일정하게 유지되고, 재작업도 줄어들며, 공정 속도도 예측 가능해집니다.
또한 필요한 부분만 가열함으로써 에너지 사용량을 최소화할 수 있습니다. 그 결과 폐열이 줄어들고, 냉각 부담도 줄어듭니다. 그 결과 공정의 안정성이 높아지고, 폐기되는 웨이퍼의 양도 줄어듭니다.
설치는 간단하지만, 기본적인 사항들은 반드시 확인해야 합니다. 도구의 기계적 구조와 전기 인터페이스가 호환되는지 확인하고, 레이저 다이싱 플랫폼과의 호환성도 검증해야 합니다.
또한 초기에 열 분포를 확인하여 히터가 웨이퍼의 활동 영역과 정확하게 일치하는지 확인해야 합니다. 그리고 정기적인 유지보수를 통해 접촉면을 깨끗하게 유지하고 센서의 보정 상태를 확인해야 합니다. 이를 통해 장기적으로도 일관된 성능을 유지할 수 있습니다.