Pada garis pengeluaran sepanjang 300 mm, perubahan suhu sebanyak 2°C semasa proses pembakaran bahan fotoresist tidak akan menimbulkan masalah yang serius. Perubahan suhu ini akan menyebabkan perbezaan ketebalan garisan yang dihasilkan, serta penolakan sebahagian daripada produk yang dihasilkan. Selain itu, kadar pengeluaran pada pukul 7 pagi juga tidak akan memenuhi jangkaan yang ditetapkan. Stabiliti termal bukanlah sesuatu yang boleh diabaikan; ia merupakan faktor penting dalam proses pengeluaran.
Apa yang penting sebenarnya
Kami telah mencipta alat-alat ini untuk memastikan kawalan suhu yang tepat semasa proses litografi – sama ada melalui kaedah pembakaran lembut atau keras. Kekonsistenan suhu pada setiap lapisan wafer dikekalkan pada tahap ±0.1°C sepanjang keseluruhan proses pengeluaran. Unsur-unsur kuarsa-halogen membantu mencapai profil radiasi yang boleh diramal. Pilihan NIR pula membolehkan proses pengeringan berlaku dengan lebih cepat, tanpa berlaku perubahan suhu yang berlebihan.
Alat-alat ini sesuai digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100. Tidak ada zarah-zarah yang terhasil akibat penggunaannya, dan bahan-bahan yang digunakan juga tidak akan mengeluarkan gas berbahaya. Alat-alat ini boleh beroperasi 24/7 tanpa gangguan, dengan jangka hayat melebihi 5,000 jam, dan perubahan prestasi kurang dari 5%.
Mengapa alat ini sesuai untuk digunakan dalam kilang
Dalam bidang ini, kebolehulangan adalah perkara yang paling penting. Sistem kami memastikan suhu tetap stabil, sehingga kawalan dimensi yang kritikal dapat dilakukan dengan tepat. Profil bahan fotoresist juga tetap sama, walaupun jumlah batch yang dihasilkan bertambah dari 100 hingga 10,000 batch.
Anda akan mendapat hasil yang stabil tanpa perlu melakukan ulangan proses disebabkan perubahan suhu. Penggunaan tenaga juga lebih efisien kerana sistem pemanasan yang cekap. Selain itu, masa penggantian bahan habis pakai juga berkurangan kerana jangka hayat alat yang panjang. Kelebihannya ialah hasil yang lebih konsisten, serta OEE yang lebih baik.
Apa yang perlu dirancang
Alat-alat ini direka untuk digunakan dalam proses pembakaran biasa. Namun, sistem pemanasan mungkin berubah bergantung pada geometri bilik dan aliran gas. Oleh itu, ujian awal diperlukan untuk menyesuaikan parameter PID dan memastikan keseragaman suhu sesuai dengan konfigurasi alat yang digunakan.
Lakukanlah ujian ini terlebih dahulu. Dengan cara ini, profil suhu yang dihasilkan akan tetap stabil dari satu sesi pembakaran ke sesi yang lain.