Menghentikan mimpi buruk: Menjaga kebersihan wafer semasa proses pemanasan yang intensif
Jika anda pernah bekerja dalam pengeluaran semikonduktor secara besar-besaran, anda pasti tahu betapa sukarnya situasi ini. Kerosakan pada lampu inframerah bukan sekadar masalah kecil – ia merupakan bencana sebenar. Tiba-tiba, anda perlu berhadapan dengan wafer yang penuh dengan serpihan kuarsa dan gas halogen. Keadaan ini sangat kacau.
Kami mencipta sistem inframerah khusus untuk memastikan perkara seperti ini tidak berlaku.
Menentukan jarak yang sesuai
Kami tidak hanya mengandaikan di mana lampu harus diletakkan berbanding dengan wafer. Itu akan menyebabkan masalah. Sebaliknya, kami memerhatikan bagaimana lapisan kuarsa meregang ketika panas, serta bagaimana radiasi gelombang pendek berfungsi.
Jika lampu terlalu dekat, ia akan menyebabkan haba berlebihan. Jika terlalu jauh pula, masa yang diperlukan untuk memanaskan wafer akan menjadi lebih lama. Kami mencari titik keseimbangan di mana haba tersebar secara merata, namun masih ada ruang cukup untuk lampu meregang tanpa mengenai wafer.
Membina sistem perlindungan
Oleh kerana tiub boleh rosak, kami tidak hanya bergantung pada harapan yang baik sahaja. Kami menggunakan penghalang fizikal untuk melindungi wafer. Kami menggunakan pelindung kuarsa berkualiti tinggi antara lampu dan wafer. Pelindung ini berfungsi sebagai lapisan pelindung. Jika tiub itu pecah atau rosak, pelindung ini akan menahan semua serpihan tersebut. Memang, kita akan kehilangan lampu tersebut, tetapi wafer kita tetap selamat. Itu merupakan pertukaran yang saya rela terima setiap kali.
Selain itu, ketebalan dinding juga penting. Dinding yang lebih tipis akan memindahkan haba dengan lebih cepat, tetapi ia akan mudah rosak akibat kitaran yang cepat. Kami menyesuaikan ketebalan dinding agar sistem dapat bertahan walaupun berada di bawah tekanan yang tinggi.
Masalah penyejukan
Lampu berkuasa tinggi menghasilkan haba yang banyak, tetapi ini memberi beban yang besar pada sistem penyejukan. Jika sistem penyejukan tidak mencukupi, hujung lampu akan terlalu panas. Apabila itu berlaku, sistem penutupan akan rosak lebih awal. Mudah saja: aliran udara perlu sesuai dengan kuasa lampu. Dengan cara ini, elektrod akan tetap sejuk, dan seluruh sistem akan berfungsi dengan baik.