もうオーブンを待つのはやめましょう：半導体処理においてIR加熱がなぜ強制空気循環より優れているのか 多くの半導体製造業者が、従来の強制空気循環方式を捨てようとしていることに気づきました。 強制空気循環方式の問題点は、その遅さです。ウェハーが温度変化を感じる前に、チャンバー内のすべての空気を温める必...

より良い半導体硬化処理の秘訣：金コーティングされた赤外線ランプ 業界では、鉛を含まない、環境に優しい硬化処理が求められています。それは素晴らしいことですが、実際に機械を操作する人々にとっては悩みの種となります。 ほとんどの工場では依然として対流式オーブンを使用しており、これは基本的に大きなヒーター...

パッケージング工場では、歩留まりを下げる要因として、清掃後に残った水分や、十分に硬化していないフォトレジストが挙げられます。閉じ込められた水分は、封止剤が加熱されるとポップコーン状の欠陥を引き起こします。また、十分に硬化していないフォトレジストは、ダイシングの際に表面が傷つき、微細なスクラッチが生...