より良い半導体硬化処理の秘訣：金コーティングされた赤外線ランプ
業界では、鉛を含まない、環境に優しい硬化処理が求められています。それは素晴らしいことですが、実際に機械を操作する人々にとっては悩みの種となります。
ほとんどの工場では依然として対流式オーブンを使用しており、これは基本的に大きなヒーターであり、部屋の空気を温めるだけで大量のエネルギーが消費されてしまいます。これは非効率的です。だからこそ、私たちは金コーティングされた赤外線ランプを採用しています。空気を温めるのではなく、エネルギーを直接基板に向けて照射します。直接的で、迅速で、シンプルです。
なぜ金を使うのか？
通常の石英ランプを使うと、幅広い波長の放射が得られます。問題は、半導体の硬化処理には、すべてを熱で温めるわけにはいかないということです。そうするとウェハーが焼けてしまう可能性があります。したがって、フォトレジストや接着剤を通過できる特定の波長が必要です。
そこで、石英の容器に薄い金の層を塗ります。これはフィルターの役割を果たし、不要な長波長の放射をフィラメントに戻し、エネルギーを短波長の赤外線帯に集中させます。つまり、より多くの熱がワークピースに伝わるのです。その結果、調整時間が短縮され、硬化処理ステーションが部屋全体をサウナ状態にすることもありません。
しかし、デメリットもある
ただし、このランプは非常に強力です。熱密度が高いため、冷却システムに大きな負担がかかります。もし空気の流れが適切でなければ、ランプの端がその熱を吸収し、早期に壊れてしまいます。単にワット数を上げるだけでは不十分で、システムが適切に動作し、周囲の熱を排出できるようにしなければなりません。
プロセスの改善
鉛フリーのはんだや接着剤は、従来のものとは異なります。通常、より高い温度と厳格な温度管理が必要です。
赤外線ランプを使えば、正確なゾーン制御が可能になります。各ランプの出力を調整できるため、ウェハー上の「寒い部分」の心配もありません。
さらに、溶剤ベースの加熱媒体を使わなくて済みます。VOCも有害な燃焼生成物もありません。これは、古くて汚染を引き起こす乾燥システムに代わる理想的な解決策です。SCRコントローラーに接続し、設定を行えば、放射エネルギーが作業を行ってくれます。