MEMSウェーハを破壊することなく乾燥させる方法 MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるには、バランスをうまく取る必要があります。水分を取り除くためには熱が必要であり、しかもそれを迅速に行う必要があります。しかし、注意しないと、その微細で繊細な微小構造が壊れてしまいます。 これを実現するために、私...

ウェーハの硬化処理に使うランプが何かを爆発させないようにする方法 正直に言って、高熱を持つIRランプを揮発性化学物質が充満したチャンバー内に置くのは、非常に危険なことです。作業を行うためには熱が必要ですが、それはまるで可燃性ガスが充満した部屋にスパークプラグを置くようなものです。一般的な市販ランプ...

悪夢を止める：高負荷加熱時のウェーハの清潔さを保つために 大量生産の半導体製造現場で働いたことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。赤外線ランプが故障すると、それは単なる部品の故障ではなく、大惨事です。突然、使えなくなった加熱素子だけでなく、ウェーハもクォーツの破片やハロゲンガスで覆われてし...

シャードの発生を防ぐ：なぜIRランプの設計が重要なのか 高負荷の半導体製造過程でIRランプが破損する経験がある人なら、その恐怖をよく知っているはずです。それは本当に最悪な状況です。 問題は単に生産が止まるだけではありません。割れたクォーツ管の破片や金属の粉がウェハーの表面に散らばり、その結果、ウェ...

ウェハープロセス装置における温度センサー：100％の高電圧試験によって電気的安全性を確保する方法 ウェハープロセス装置において、温度センサーは単に温度を測定するだけの役割を果たすわけではありません。それらは装置の電気的な基盤として機能し、高い電圧がかかり、空間も狭く、環境も厳しい状況下でも安定して...

ファブラボでは、レーザーによるウェーハの切断処理は、何も待つことなく行われます。もしサポートヒーターの温度が不安定になると、ウェーハの熱バランスが崩れてしまいます。その結果、フォトレジストの硬化状態が不安定になり、カット幅の制御も乱れ、生産効率も低下します。そうなると、ラインは無駄に停止してしまい...

300mmウェーハの場合、フォトレジストを焼成する際に2°Cのズレがあっても問題にはなりません。ただし、それによって線幅に変動が生じたり、不良品が出たり、朝7時時点での歩留まりが悪くなったりします。熱安定性は単なる付加的な要素ではなく、プロセスそのものです。 実際に重要なのは何か 私たちが開発した...

ファブフロアでは、CMP後のわずかな水跡が歩留まりを大きく損なう。従来の乾燥工程では微小な液滴が残留するか、粒子を巻き上げて次のリソグラフィ工程の障害要因となる。そこで当社は、損失が生じる最初の段階で食い止めるため、Post-CMPウェハ乾燥用ヒーターを開発した。 内部の重要要素 ウェハへは短波長...

リソグラフィ工程のフロアでは、300 mmウェハがコートからベイクへとラインのタクトに合わせて連動して流れる。ソフトベイクは90 ℃、ハードベイクは110 ℃で行う。フォトレジストはロットごとに同じ挙動を示さなければならない。熱プロファイルがずれると、その場で代償を払うことになる：CDシフト、接着...