真空対応の赤外線ヒーター

真空チャンバーを加熱するのはやめて、ウェーハを加熱しましょう。 半導体製造現場で働いたことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。ウェーハを所定の温度にする必要がありますが、チャンバー全体がオーブンのようになってしまっては困ります。 一般的なIRランプは、熱をあらゆる方向に放出してしまいます。...