ウェーハ加熱時の安全距離

悪夢を止める：高負荷加熱時のウェーハの清潔さを保つために 大量生産の半導体製造現場で働いたことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。赤外線ランプが故障すると、それは単なる部品の故障ではなく、大惨事です。突然、使えなくなった加熱素子だけでなく、ウェーハもクォーツの破片やハロゲンガスで覆われてし...