와이어를 굳히는 데 사용되는 램프가 주변의 물건들을 폭발시키는 것을 막는 방법
솔직히 말해서, 고온의 적외선 램프를 휘발성 화학물질이 가득한 공간에 넣는 것은 매우 위험한 일입니다. 작업을 위해서는 열이 필요하지만, 이는 마치 가연성 기체가 가득한 방에 스파크 플러그를 넣는 것과 같습니다. 일반적인 램프를 사용하는 것은 좋지 않은 선택입니다. 오히려 위험할 뿐입니다.
그래서 우리는 반사판과 램프를 마치 요새처럼 설계하여, 열원과 주변 환경을 완전히 분리시킵니다.
실제로 효과적인 밀폐 구조
우리는 밀폐 처리에 있어서 결코 소홀히 하지 않습니다. 모든 것을 단단히 잠그는 밀폐 공정을 사용합니다. 그렇게 하면 어떤 기체도 내부로 들어오지 못하고, 스파크도 밖으로 나오지 않습니다.
반사판은 단순히 빛을 반사하는 역할만 하는 것이 아니라, 최초의 방어선 역할을 합니다. 우리는 고순도의 석영 유리와, 강력한 세정제에도 견딜 수 있는 가스켓을 사용합니다. 온도가 변동할 때 금방 깨져버리는 저렴한 밀폐재는 사용하지 않습니다.
열을 정확한 위치에 전달하기
목표는 웨이퍼만을 가열하는 것입니다. 그러기 위해 우리는 금으로 코팅된 재료나 반사율이 높은 알루미늄을 사용합니다. 이를 통해 단파 적외선을 집중시켜 목표물에 정확히 전달할 수 있습니다. 빔이 좁아지면 챔버의 벽면은 더 차가워지고, 웨이퍼는 훨씬 더 강한 열을 받게 됩니다. 이렇게 하면 굳히는 과정이 더 빨라집니다. 간단하죠.
타협점(대부분의 사람들이 잊는 부분)
문제는 고강도 램프의 단자 부분이 엄청나게 뜨거워진다는 것입니다. 우리의 밀폐 구조가 너무 완벽하기 때문에, 그 열이 안쪽에 갇히게 됩니다. 고출력의 장비를 사용할 경우, 그냥 그대로 두면 안 됩니다. 쿨링 팬이나 액체 냉각 시스템이 충분히 강력해야 합니다. 공기가 제대로 순환하지 않으면 내부 부품들이 과열되어 회로가 멈출 수 있습니다. 번거롭긴 하지만, 시스템이 고장나는 것보다는 낫습니다.
만약 전원 공급 장치의 전압이 적절하다면, 이 장비들은 별다른 문제 없이 기존의 굳히는 장비에 바로 연결될 수 있습니다.