
提升半导体固化效果的秘诀:镀金红外灯
业界正在努力寻求无铅、环保的固化方式。这固然很好,但却给实际操作设备的人带来了麻烦。
大多数工厂仍然依赖对流式烤箱,这类设备其实只是巨大的加热器,它们需要消耗大量能源来加热房间内的空气。这种做法效率极低。因此,我们转而使用镀金红外灯。与其加热空气,不如将能量直接作用在待处理的基材上。这样更高效、更快捷。
为什么要用镀金材料呢?
如果使用普通的石英灯,它会产生宽谱辐射。但对于半导体固化来说,不能只是简单地用热能加热整个物体。否则,晶圆就有可能被烧毁。因此,我们需要特定波长的光线,这样的光线能够穿透光阻或粘合剂。
所以,我们在石英灯的外壳上涂上一层薄薄的黄金。这层黄金就像过滤器一样,可以将不必要的长波辐射反射回去,让能量集中在短波红外范围内。这样一来,更多的热量能够直接作用于工件上。这样一来,设备的升温时间就会缩短,而且不会让整个房间变成“桑拿室”。
不过,也有相应的缺点。
这些灯的发热强度非常高。由于热量密度过大,会对冷却系统造成很大压力。如果气流控制不当,灯的端部就会因为吸收过多热量而过早损坏。不能仅仅增加功率就能解决问题,还必须确保冷却系统能够有效散热。
简化处理流程
无铅焊料和粘合剂的需求则有所不同。它们通常需要更高的温度以及更精确的温度控制。
红外灯则可以解决这个问题,因为它们能够实现精确的区域控制。你可以单独调整每盏灯的功率,这样就不用再担心晶圆上会出现“冷点”了。
此外,还可以摒弃传统的溶剂型加热方式。没有挥发性有机化合物,也没有有害的燃烧副产品。这无疑是一种比传统污染严重的干燥系统更环保的替代方案。你只需将其连接到SCR控制器上,设置好参数,然后让红外光来完成工作即可。