ウェーハの硬化処理に使うランプが何かを爆発させないようにする方法
正直に言って、高熱を持つIRランプを揮発性化学物質が充満したチャンバー内に置くのは、非常に危険なことです。作業を行うためには熱が必要ですが、それはまるで可燃性ガスが充満した部屋にスパークプラグを置くようなものです。一般的な市販ランプでは不十分であり、むしろ危険です。
だからこそ、私たちは反射器やランプの構造をしっかりと設計し、熱源と空気を完全に分離しています。
実際に効果的なシール機能 私たちはシール部分にこだわっています。完璧に密閉された構造を採用しているため、ガスが内部に入ったり、火花が外に出たりすることはありません。
反射器は単に光を反射するだけでなく、重要な防御手段でもあります。高純度の石英ガラスや、強力な洗浄剤に耐えられるガスケットを使用しています。温度が変動するとすぐに割れてしまう安価なシール材とは異なり、私たちの製品はそういう問題がありません。
適切な場所に熱を届ける 目指すのは、チャンバー全体を加熱するのではなく、ウェーハだけを加熱することです。
そのために、金メッキされた素材や高反射率のアルミニウムを使用しています。これにより、短波長のIR放射線を目的の場所に集中させることができます。ビームが狭いため、チャンバーの壁面は冷たく保たれ、ウェーハにはより強力な熱が与えられます。つまり、硬化処理の時間が短縮されるのです。簡単ですよね。
トレードオフ（多くの人が忘れがちな点） 問題は、高強度のランプの端子部分が非常に高温になるということです。
私たちの製品は非常に密閉されているため、その熱が内部に閉じ込められます。高出力の装置を使用する場合、「設定して放置する」わけにはいきません。冷却ファンや液体冷却装置が十分に強力であることが必要です。空気が流れなければ、内部の部品が限界に達し、ブレーカーが落ちてしまいます。面倒ですが、システムが壊れるよりはましなのです。
電源の電圧が適切であれば、これらの装置は問題なく既存の硬化処理ラインに組み込むことができます。