真空チャンバー内での加熱をやめましょう もし、真空チャンバー内でウェーハや基板を加熱しようとしたことがあるなら、その大変さはご存知でしょう。チャンバーの内壁が偶然にでも加熱されないように、常に注意しなければなりません。 一般的なIRランプは、まさに強化された電球のようなものです。熱をあらゆる方向に...

真空チャンバーを加熱するのはやめて、ウェーハを加熱しましょう。 半導体製造現場で働いたことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。ウェーハを所定の温度にする必要がありますが、チャンバー全体がオーブンのようになってしまっては困ります。 一般的なIRランプは、熱をあらゆる方向に放出してしまいます。...